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Alvo de pulverização de tântalo - disco

Pequena descrição:

O alvo de pulverização catódica de tântalo é aplicado principalmente na indústria de semicondutores e na indústria de revestimento óptico.Fabricamos várias especificações de alvos de pulverização catódica a pedido de clientes da indústria de semicondutores e da indústria óptica através do método de fundição em forno EB a vácuo.Desconfiando do processo de laminação exclusivo, por meio de tratamento complicado e temperatura e tempo de recozimento precisos, produzimos diferentes dimensões dos alvos de pulverização catódica de tântalo, como alvos de disco, alvos retangulares e alvos rotativos.Além disso, garantimos que a pureza do tântalo está entre 99,95% e 99,99% ou superior;o tamanho do grão é inferior a 100um, a planicidade é inferior a 0,2 mm e a superfície


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Descrição

O alvo de pulverização catódica de tântalo é aplicado principalmente na indústria de semicondutores e na indústria de revestimento óptico.Fabricamos várias especificações de alvos de pulverização catódica a pedido de clientes da indústria de semicondutores e da indústria óptica através do método de fundição em forno EB a vácuo.Desconfiando do processo de laminação exclusivo, por meio de tratamento complicado e temperatura e tempo de recozimento precisos, produzimos diferentes dimensões dos alvos de pulverização catódica de tântalo, como alvos de disco, alvos retangulares e alvos rotativos.Além disso, garantimos que a pureza do tântalo está entre 99,95% e 99,99% ou superior;o tamanho do grão é inferior a 100um, a planicidade é inferior a 0,2 mm e a rugosidade da superfície é inferior a Ra.1,6 μm.O tamanho pode ser adaptado pelos requisitos dos clientes.Controlamos a qualidade de nossos produtos através da fonte de matéria-prima até toda a linha de produção e, finalmente, entregamos aos nossos clientes para garantir que você compre nossos produtos com qualidade estável e igual a cada lote.

Estamos tentando o nosso melhor para inovar nossas técnicas, melhorar a qualidade do produto, aumentar a taxa de utilização do produto, reduzir os custos, melhorar nosso serviço para fornecer aos nossos clientes produtos de maior qualidade, mas com custos de compra mais baixos.Depois de nos escolher, você obterá nossos produtos estáveis ​​de alta qualidade, preços mais competitivos do que outros fornecedores e nossos serviços oportunos e altamente eficientes.

Produzimos alvos R05200, R05400 que atendem ao padrão ASTM B708 ​​e podemos fazer alvos de acordo com os desenhos fornecidos.Tirando proveito de nossos lingotes de tântalo de alta qualidade, equipamentos avançados, tecnologia inovadora e equipe profissional, adaptamos seus alvos de pulverização catódica necessários.Você pode nos contar todos os seus requisitos e nos dedicamos à fabricação de acordo com suas necessidades.

Tipo e Tamanho:

Alvo de pulverização de tântalo padrão ASTM B708, 99,95% 3N5 - 99,99% 4N Pureza, Alvo de disco

Composições Químicas:

Análise Típica: Ta 99,95% 3N5 - 99,99% (4N)

Impurezas metálicas, ppm max por peso

Elemento Al Au Ag Bi B Ca Cl Cd Co Cr Cu Fe
Contente 0,2 1,0 1,0 1,0 0,1 0,1 1,0 1,0 0,05 0,25 0,75 0,4
Elemento Ga Ge Hf K Li Mg Na Mo Mn Nb Ni P
Contente 1,0 1,0 1,0 0,05 0,1 0,1 0,1 5,0 0,1 75 0,25 1,0
Elemento Pb S Si Sn Th Ti V W Zn Zr Y U
Contente 1,0 0,2 0,2 0,1 0,0 1,0 0,2 70,0 1,0 0,2 1,0 0,005

Impurezas não metálicas, ppm max por peso

Elemento N H O C
Contente 100 15 150 100

Equilíbrio: Tântalo

Tamanho do Grão: Tamanho Típico <100μm Tamanho do Grão

Outro tamanho de grão disponível mediante solicitação

Planicidade: ≤0,2 mm

Rugosidade da superfície: < Ra 1,6 μm

Superfície: polida

Formulários

Materiais de revestimento para semicondutores, óptica


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